污染物控制在电子和半导体行业的应用
污染物控制在电子和半导体行业的应用
![F))VW(VKW7}YUP)VRQUT]Q4.png](http://mo.508sys.com/image/loading/transparent.png)
性能
半导体、硬盘和平板显示器的制造商对环境的要求极其严格。即使质量方面一个小小的缺陷，就会导致严重经济损失。对洁净车间和工艺制程关键区域的环境粒子精确测量计数来保证高良率下的高品质是非常重要的一点。基于这点考虑，您需要和信任的品牌来合作。TSI公司是公认的世界级空气尘埃粒子测量领域的权威。
控制
为了使产品质量持续提高，我们需要稳定的测量系统和测量数据，来更准确的使用诸如统计工程控制(SPC)这样的改进工具。工艺制程的相关信息不但有助于最大程度减少停机时间，并且在创造性的提高生产效率这方面也很重要。TSI公司的FMS 5 (在线粒子监测系统)应用软件自带的SPC选项，并具有当在工艺进 程出现问题时，实时捕捉报警信息并通知软件系统的特点。TSI 公司世界级空气尘埃粒子测量仪器和FMS 5在线粒子监测系统的 完美组合，使您拥有强有力的工具来确保您的工艺制程在可控制的条件下运行。
AeroTrak®系列粒子计数器丨研究与工业应用的完美结合
AeroTrak®系列粒子计数器，包括手持式，便携式和远程式，旨在满足电子和半导体工业对洁净室洁净度的应用要求。AeroTrak粒子计数器符合ISO 21501-4标准提出的严格要求。该系列粒子计数器通过符合NIST可追溯的PSL微球、公认的粒子检验标准、TSI公司世界一流的筛分器和凝聚核粒子计数器来进行校准°TSI公司以高质量、 高精度的长期声誉来保证，AeroTrak系列粒子计数器为您提供最 佳的测量系统和测量数据来帮助您保证您的工艺过程在可控制的条 件下运行。
认证和监测丨更简单
你是否定期认证您的洁净室或者持续监测洁净室，或者两项都要完成。TSI公司产品帮助简化您的工作，符合您的要求。AeroTrak便携式粒子计数器提供了一个简单的图标驱动的触摸屏界面，使它很容易上手。具有测量精确数据，输出多种格式，完全符合行业标准的报告的特点。FMS 5在线粒子监测软件是一个功能强大的，连续监 测的系统。AeroTrak远程式粒子计数器和其他环境监测传感器，无缝隙地集成到FMS 5在线粒子监测软件中来收集您工艺制程信息来提高您的工艺制程能力。FMS 5在线粒子监测软件可以通过简单的配置，使您能够轻松地生成SPC图表，便于您对工艺制程能力的分析，提高。
TSI 便携式粒子计数器
AeroTrak 系列便携式粒子计数器
TSI公司提供完整系列的便携式粒子计数器，包括1立方英尺/分钟（28.3升/分 钟），50升/分钟，100/分钟等各种流量。其中9110型号，提供0.1 pm粒径， 1立方英尺/分钟（28.3升/分钟）高灵敏度的测试，满足您对ISO 1级洁净度标准的 测量分类。所有AeroTrak粒子计数器均可与TSI的FMS 5在线粒子监测软件无 缝对接，确保您对产品和工艺制程的精确控制。
AeroTrak 手持式粒子计数器
TSI公司的手持式粒子计数器是寻找泄漏源，分级洁净区域，过 滤器检漏等应用方面的非常优秀的仪器。当作为调查工具，问题 出现早期就能及时发现，帮助您节省时间和金钱。型号9303是 —个具有低成本高性能，3个粒径通道，0.1立方英尺/分钟（2.83 升/分钟）粒子计数器。型号9306是一款具有6个粒径通道，0.1立 方英尺/分钟（2.83升/分钟）的世界一流的粒子计数器。
洁净室验证产品风速仪
TSI公司的风速仪，是世界级的具有测量精度高，低速等特点的仪 器，一般被用作验证和检测洁净室和其他洁净设备。产品包括：
+ VelociCalc® 风速计
+ AccuBalance® 风量罩
+ Air Velocity Transducers 风速传感器
+ DP-Calc™微压差计
AeroTrak® + 远程尘埃粒子计数器
TSI AeroTrak®+ 远程尘埃粒子计数器（APCS）为洁净室专业人员提供一流的可靠性和无障碍操作。仪器覆盖了宽广的粒子粒径，能够满足您制造环境的需要。仪器具有快速设置和操作方便的特性，是安装期间节省时间的首选，同时能够确保在洁净设施的使用寿命内进行可靠的测量。
AeroTrak+ 远程APC 有两种配置。7000 系列是一种传统的远程APC，与外部真空系统配合使用。对于不具有外部真空系统或难以灵活改造洁净设施的应用，新型6000 系列自带泵远程APC 是理想的解决方案。两者都提供了提高产品良率的关键优势。
领先的在线粒子监测系统软件FMS 5
FMS 5在线粒子监测软件是一款为电子业，半导体，硬盘和其他工业领域专门开发的污染物监测软件。FMS 5帮助您轻松实现对关键工艺尺寸的污染物控制，最大程度的减少停机，节省您的时间和金钱。
FMS 5在线粒子监测软件内置了统计过程控制（SPC）工具。SPC参数可以很轻松地进行配置以满足您独特的应用。
FMS 5绘图功能生成可以生成控制图。通过统计功能，可以定义样本，展示详细的SPC信息。FMS 5在线粒子监测系统提供了一个完整的，包含集成数据的统计监测系统来保证您的设备的正常运行时间和最优控制。
开放式结构可以很容易地集成具有标准输出的传感器。包括 TSI公司的AeroTrak系列粒子计数器，温度和湿度传感器，压差传感器等等。FMS 5在线粒子计数器提供一个通过镜像数据库来备份数据和自动热待机系统供用户选择。自定义报告和自动报告选项，用户可以轻松获得有价值的，及时的信息。
TSI 在线粒子监测系统